基本信息

  • 生产厂商 美国Veeco Process Equipment Inc
  • 资产编号 19017621
  • 资产负责人 王改利
  • 购置日期2019-09-30
  • 仪器价格871.85 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数生长室最高工作温度:1200℃,可升级到1800℃;生长材料:GaN,AlN,InN等,可进行Mg,Si等掺杂;真空度:进样室优于5E-8Torr,预处理室优于9E-10Torr,生长室优于5E-11Torr

仪器介绍

分子束外延是在超高真空条件下生长高纯薄膜晶体的一种顶尖的薄膜生长手段,相比其他生长方法具有较高的优越性,比如可以生长纳米级的量子点、纳米线,可以在原子层量级精确控制薄膜厚度和掺杂度、通过衬底的晶格来调控薄膜的轨道基本态和生长超晶格结构,可以实现通过人为生长进行能带工程的剪裁等。