基本信息

  • 生产厂商 中国科学院微电子研究所
  • 资产编号 15009161
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2015-07-14
  • 仪器价格0.69 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数参数：手动旋钮控制基片尺寸φ5-100mm圆片、最大100x100mm2方片转速：500-8000转/分显示转速稳定度：±1%，胶的均匀性±1%匀胶阶段：2段匀胶时间：Ⅰ速0~18S,最大（0~60S）；Ⅱ速0~60S,最大（0~180S）电机功率：40W整机尺寸（长宽高）：210mm×260mm×275mm适用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

仪器介绍

用于硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料的匀胶。专用于PI及其他高粘度胶。