技术参数：1， 整套系统包括气冷飞秒光纤激光器、激光扫描振镜系统、电动xy扫描平移台、高灵敏度彩色CMOS相机、自动调焦显微镜、显微物镜：63×/25×/20×/10×、样品托架、超净间适用的气浮光学隔振平台、直写软件控制系统。2，气冷飞秒光纤激光器的重复频率80MHz±1MHz，平均输出功率＞120Mw，中心波长780nm±10nm。3，样品运动系统的三维方向最大形程均为300μm的纳米位移台，最大行程为100mm×100mm的机械运动台。4，光斑运动系统最大扫描面积达到？=1mm的二维扫描振镜，垂直方向最大行程为8mm的位移系统。5，GT2操作员控制台有XY方向以及Z轴方向运动控制器，操作系统外设电脑，适用于无尘室的不锈钢工作台，大小为120 x 80 cm2。6，稳定的工业级控制电脑，MS Windows 7。7，软件以及许可证包括界面友好的主操作软件最新版NanoWrite 1.8、最新版的3D模型编辑软件DeScribe 2.5、在线知识支持库NanoGuide。8，面向最高精度的3D微纳打印套件（3D SF），适用于纳米以及微米尺度器件的打印；可使用镜头浸入式打印模式或者普通油浸镜头打印模式；使用光斑扫描打印模式时最大单次打印面积为？ = 200 μm。9，浸入式镜头物镜3D SF； 63x；NA=1.4。10，样品架10 x ？ 30 mm。11，适用于DiLL技术的衬底；25 x 25 x 0.7 mm3, 石英玻璃, 50片。12，适用于油浸加工模式的衬底；圆形载玻片；？ = 30 mm x 0.17 mm；100片。13，IP-L 780光刻胶；50克；5瓶每瓶10克装。14，IP-Dip光刻胶；50克；5瓶每瓶10克装。15，液体吸入毡环；圆形，适用于浸润式镜头3D SF，10片。16，软件支持：DeScribe流程参数3D SF：63x，IP-Dip，石英衬底。17，面向中等精度的3D微纳打印套件（3D MF），适用于微米以及介观尺度器件的打印；可使用镜头浸入式打印模式或者普通油浸镜头打印模式；使用光斑扫描打印模式时最大单次打印面积为？ = 400 μm。18，浸入式镜头物镜3D MF； 25x；NA=0.8。19，样品架 Multi DiLL20，适用于DiLL技术的衬底；25 x 25 x 0.7 mm3, 碱石灰玻璃，一面导电ITO涂层， 50片。21，IP-S光刻胶；50克；5瓶每瓶10克装23，液体吸入毡环；圆形，适用于浸润式镜头3D MF，10片24，软件支持：DeScribe流程参数3D MF实心：25x，IP-S，ITO；DeScribe流程参数3D MF壳层及骨架：25x，IP-S，ITO