显微红外光谱仪实现了红外显微镜与傅里叶红外光谱仪相结合的显微分析技术。检测灵敏度高，可达到纳克级别，测量区域小，可到微米级；不破坏样品，对样品大小、形状要求不高，可直接对微小样品或不均匀样品的微区进行分析；可进行面扫描，线扫描，并对材料红外光谱成像和分析等。