基本信息

  • 生产厂商 DENTON
  • 资产编号 23023014
  • 资产负责人 孙家宝
  • 购置日期2023-09-26
  • 仪器价格199.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商赛尔网络有限公司
  • 购买经办人王妹芳
  • 主要配件 机械泵、低温泵、高真空镀膜腔室、6个坩埚位、膜厚仪、电子枪、水冷样品台、自动化软件。
  • 主要参数可加工6英寸样品及以下尺寸整片或碎片，厚度不限。 本地真空度优于5e-7Torr。 6英寸面内镀膜厚度均匀性优于±2%。 可进行高深宽比镀膜工艺和剥离（Lift-off）工艺。 可进行各种材料（金属、合金、化合物）的蒸镀工艺，不接受有毒有腐蚀性有挥发性材料的镀膜工艺。

仪器介绍

美国进口设备、全程自动化镀膜、易学易操作、成膜质量高、均匀性好、镀膜材料种类广、重复性好、独立操作、参数优化自由度高。