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场发射电子枪;加速电压:20-200kV,分档可调;信息分辨率极限:0.14 nm;点分辨率:0.24nm;高分辨STEM分辨率:0.19nm;样品最大倾角:单倾杆为+/-30°,双倾杆为+/-30°(α)和+/-25°(β);EDS分辨率:125eV;放大倍率:TEM模式为21.5~10.5M,STEM模式为10000~330M,分档可调。