基本信息

  • 生产厂商 徕卡
  • 资产编号 21021858
  • 资产负责人 马杰
  • 购置日期2021-10-15
  • 仪器价格103.49 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数溅射电流：0－400mA，可调;溅射时间：1－1800秒，可调;镀膜终止：可按时间终止；也可根据设定膜厚镀膜过程;内置式触摸屏控制面板，镀膜过程控制：自动镀膜;镀膜靶源采用倾角式设计，配置旋转样品台，可使镀膜最均匀;电子束蒸发镀膜,带有石英膜厚监控器，可根据设定膜厚自动终止镀膜，实现镀膜厚度的精确控制。控制精度0.1nm;带有氩气灌洗功能，以去除管路中残留气体，保证样品室内无污染;带有预溅射功能，金属靶带有挡板保护;全无油真空系统：隔膜泵×1+分子泵×1,最优真空度：≤1x10-6mbar。

仪器介绍

通过电子束蒸发金属镀膜方式对样品表面进行均匀的金属镀膜，实现非导电样品的导电处理，适宜于SEM观察；通过电子束蒸发蒸发碳镀膜对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜，实现非导电样品的导电处理。