ICP-MS具有分析元素覆盖面广（可达73元素）、高灵敏度、干扰少、超痕量检出限、极宽的动态线性范围、能进行同位素分析等诸多优点，广泛应用于环境、食品检测、半导体、医学、生物、冶金、石油、核材料分析等领域。本仪器同时配备了高效液相色谱仪，通过液相联用可以对元素（例如砷、汞、铬等元素）的不同形态做进一步的分析。