基本信息
- 生产厂商 美国Tencor公司
- 资产编号 12017539
- 资产负责人 ----
- 购置日期2012-06-19
- 仪器价格22.21 万元
- 仪器产地美国
- 仪器供应商浙江中大技术进口有限公司
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数1、扫描长度范围：30mm最大；
2、垂直测量范围：50 µm 最大；
3、台阶高度重现性：6 Å 或 0.1%，取大值；
4、垂直分辨率：0.38Å最小信号位；
5、横向分辨率：100nm (取决于探针)
6、探针压力：0.03mg；
6、探针曲率半径：2.5µm标准；
7、样品台直径：140mm。
8、样品厚度：20mm (~0.75英寸)
