基本信息

  • 生产厂商 法国HORIBA
  • 资产编号 18017626
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  • 购置日期0000-00-00
  • 仪器价格47.62 万元
  • 仪器产地法国
  • 仪器供应商浙江省成套设备进出口有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1、测量范围：Psi= 0°– 90°，Delta= 0°– 360°，无死区。 2、测量精度：直射测量空气（Psi = 45°; Delta = 0°），满足Ψ≤45°0.01°，Δ≤0°0.01° （1.5eV-5eV）。 3、测量重复性：SiO2薄膜厚度测量10次的标准偏差1δ优于0.2？（样品100nm SiO2/Si）,633nm处折射率< 0.0002。 4、测量光谱范围：247nm至2066nm。 5、使用宽光谱光弹调制晶体（PEM）调制信号偏振状态，弹性晶体光谱范围宽，红外波段可覆盖至2100nm。6、Ψ、Δ 全量程都无死角测量。7、手动量角器，角度可从45°到85°变化，最小步进为5°。8、样品台可放样品大小：最大直径200mm、最大厚度20mm，高度可调。

仪器介绍

光谱范围：247nm至2066nm，可测量膜厚、折射率、消光系数等信息。