具备全探针扫描技术的扫描器，扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动，而样品为完全静止状态，以保证大样品测试的安全和稳定； Z方向噪声水平: 开环控制< 0.3Å ，闭环控制< 0.35 Å（图象测试）；< 0.5Å（力测试）； XY方向噪音水平: 开环控制< 0.1nm, 闭环控制< 0.15nm；智能自动进针方式；全自动可程序控制高精度样品台：可支持的样品XY方向尺寸达200mm，高度方向可测试15mm高度的样品. 样品台可高精度程序控制，并提供真空吸附的功能。