超高速地扫描样品表面，采集表面颜色和微观形貌立体化信息，获取高分辨率、彩色、高低图像。具备以下特色：（1）高精度：配备超高灵敏度光电倍增器，高精度16bit感应。高级别0.5nm线性标尺，准确性、重复性双重精度保证。（2）高效性：快速了解“差异”，利用多文件分析功能分析多个样品的差异，自动计算尺寸、体积、面积等多项数据。（3）分析力：非接触、非破坏、高精度地再现表面形状，测量高度、宽度、角度等。粗糙度分析简单：测量各种目标物的线粗糙度、面粗糙度等。（4）观察力：显微系统功能，高质量的光学观察，消除对较模糊，深度合成功能。可视化纳米级的起伏部位、损伤部位观察。（5）定量化：配套的分析软件能够实现体积面积测量，平均高度差测量，线粗糙度、表面粗糙度测量，平面测量，薄膜厚度测量等。