基本信息

  • 生产厂商 日本日立公司
  • 资产编号 0600994C
  • 资产负责人 陈汉民
  • 购置日期2006-08-23
  • 仪器价格180.16 万元
  • 仪器产地日本
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数可变压力范围是1～270Pa，二次电子分辨率为3.0nm（25KV，高真空模式），背散射电子分辨率为4.5nm（25KV，可变压力模式），放大倍率是20～500，000（143级），加速电压0.3～30KV。本仪器配冷冻样品台（-20℃～10℃）。计算机控制，高分辨图象存储。

仪器介绍

用电子速扫描方式，获得样品表面微观三维图象