基本信息

  • 生产厂商 美国Specialty Coating System Inc
  • 资产编号 15006520
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2015-06-08
  • 仪器价格46.65 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.蒸发腔室/原料仓容量125g2.蒸发室操作温度：室温~180℃，可调3.裂解室操作温度：室温~700℃，可调4.机械制冷器：-90℃5.涂敷厚度：0.1-100μm

仪器介绍

真空气相沉积系统适用多种材料表面的Parylene涂敷