MEMS键合加工系统是弱磁检测传感器研制必要设备。该设备可实现腔室内的气体压力空控制，温度控制，键合压力控制，高压控制等自动化功能，可实现产品在纯氛围气体下实现双层阳极键合。该设备是开展MEMS磁传感器研究与测试的核心设备，对该设备的采购有助于学校电子信息领域教学和研究水平的提高，促进学科建设。