基本信息

  • 生产厂商 江苏京创先进电子科技有限公司
  • 资产编号 21004829
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  • 购置日期2021-04-16
  • 仪器价格28.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1)可加工基片尺寸：≥φ150mm；2)最大切割深度：样品厚度＜800μm，可切透；样品厚度＞800μm，可切割800μm槽，样品最大厚度10mm 3)切槽宽度：≤刀厚（40μm）+10μm(切割材料深度小于1mm时)；4)X轴工作行程：≥170mm；5)X轴分辨率：≤0.001mm；6)X轴切割速度：0.1~500mm/s；7)Y轴工作行程：≥170mm；8)Y轴重复定位精度：≤0.005mm/170mm；9)Z轴工作行程：≥30mm；10)Z轴分辨率：≤0.001mm；11)主轴功率：≥1.5KW；12)自动切割模式/半自动切割模式、单向切割模式和双向切割模式；13)配套自动图像识别功能；14)配套刀破检测功能；15)配套非接触测高功能；16)气源气压：0.6~0.8MPa（供应商配套空气压缩机、冷干机、气罐及安装）；17)切削水消耗量：消耗量约3.5L/min（供应商配套超纯水净化机（亿翱))

仪器介绍

1）可实现对6寸晶圆的划片切割，设备对准精度高，切割跑道尺寸小；2）配备高集成度辅助控制软件，对准、切割等操作能自动控制，操作简便；3）配备非接触测高、刀破检测等辅助功能，避免损伤芯片；