基本信息
- 生产厂商 Denton Vacuum LLC
- 资产编号 16011420
- 资产负责人 SAILING HE
- 购置日期2016-10-08
- 仪器价格84.91 万元
- 仪器产地美国
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数304不锈钢腔体；高度不低于750mm，保证蒸发镀膜入射角度。配置机械泵和低温泵，从大气抽到2E-6Torr时间少于30分钟。系统的极限压强可达≤1E-7Torr。电子枪功率不低于6kW，使用国际知名品牌电子枪。样品台带电机驱动实现连续旋转，最大转速不小于20转/分钟，转速可调。样品台不小于8英寸，具有水冷功能。石英晶振膜厚控制系统，可自动稳定地控制蒸发速率以及最终膜厚。
