基本信息

  • 生产厂商 日本 DISCO
  • 资产编号 15021964
  • 资产负责人 SAILING HE
  • 购置日期2015-12-21
  • 仪器价格66.60 万元
  • 仪器产地日本
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数切割芯片尺寸8边长为250mm方形,可切割材料:硅、半导体化合物及玻璃等难切削材料,主轴功率大于1.8kW,定位精度:0.003以内/260(单步误差)0.002以内/5

仪器介绍

晶圆切割晶圆切割(Dicing),也叫划片(DieSawing),是将一个晶圆上单独的die通过高速旋转的金刚石刀片(也有激光切割技术)切割开来,形成独立的单颗的晶片,是半导体器件加工中一个重要的步骤。