基本信息

  • 生产厂商 Germany Raith GabH
  • 资产编号 13006945
  • 资产负责人 SAILING HE
  • 购置日期2013-06-24
  • 仪器价格905.51 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数最大电压：30~50kV最小结构尺寸：10nm重叠精度：40nm接缝精度：40nm2mm=75mm样品台配有激光干涉测量定位系统，定位精度1nm

仪器介绍

主要功能是电子束直写，可以多层套刻，也可与接触式光刻机配合进行混合光刻（MixMatch），以便在大尺寸器件上制作微纳精细结构。