基本信息

  • 生产厂商 德国Karlsuss
  • 资产编号 1001631Q
  • 资产负责人 JIAN JUN
  • 购置日期2010-03-24
  • 仪器价格188.25 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数wafersize：upto150mm/6(round);Minpieces:5x5mm;masksize:SEMIspec,standardupto7x7

仪器介绍

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