基于玻璃、光学晶体、氧化物等介质材料的低维纳米线、条、孔等导波结构的精密制备；纳米尺度的金属表面等离子体共振结构、导波结构、衬底结构的制备和加工；亚波长量级的光子晶体结构、负折射率材料结构的加工制备；氧化物半导体纳米结构的高精度表面处理、结构加工和制备；其他无源和有源纳米光子结构和材料的制备和改性，各种微纳结构剖面观察。该设备购置以来，为材料、物理、化学、生物、光电等相关学科的研究人员提供各种微纳结构的加工服务。