基本信息

  • 生产厂商 美国ZYGO公司
  • 资产编号 0506661Q
  • 资产负责人 徐沛拓
  • 购置日期2005-12-31
  • 仪器价格150.36 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数线性分辨力：0.001um.偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

仪器介绍

实现光学器件表面形貌的测量。