基本信息

  • 生产厂商 Carl Zeiss Jena
  • 资产编号 21032049
  • 资产负责人 许震
  • 购置日期2021-12-16
  • 仪器价格96.50 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件 1电子光学系统要求。1.1 电子枪：钨灯丝电子枪*1.2 分辨率：高真空二次电子像 ≥3.0nm @ 30 kV，≥8.0nm @ 3 kV *1.3 加速电压：0.2 - 30 kV，10V步进连续 可调 *1.4 电子束流：0.5 pA - 5 μA，连续可调 1.5 放大倍数：7 - 1,000,000 X，低倍率与高倍率无需任何模式更换 *1.6 能谱仪分析工作距离在35度出射角时小于等于9mm 1.7 电子束控制：分辨 率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式用于快速的样品定位 1.8 配置气体被动式防震系统 1.9 具有光镜电镜联用功能升级可能，未来可以在与电镜相同品牌的光镜下进行无 阻尼连接 2样品室及样品台要求 *2.1样品室：宽度或者内部直径不小于310mm, 高度不小于 220mm *2.2样品台：全自动五轴马达驱动
  • 主要参数1电子光学系统要求 1.1 电子枪：钨灯丝电子枪 *1.2 分辨率：高真空二次电子像≥3.0nm @ 30 kV，≥8.0nm @ 3 kV *1.3 加速电压：0.2 - 30 kV，10V步进连续可调 *1.4 电子束流：0.5 pA - 5 μA，连续可调 1.5 放大倍数：7 - 1,000,000 X，低倍率与高倍率无需任何模式更换 *1.6 能谱仪分析工作距离在35度出射角时小于等于9mm 1.7 电子束控制：分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式用于快速的样品定位 1.8 配置气体被动式防震系统 1.9 具有光镜电镜联用功能升级可能，未来可以在与电镜相同品牌的光镜下进行无阻尼连接 2样品室及样品台要求 *2.1样品室：宽度或者内部直径不小于310mm, 高度不小于220mm *2.2样品台：全自动五轴马达驱动样品台 2.3移动范围：X≥80 mm； Y≥80 mm； Z≥30mm，T≥-10° - 90°，R = 360°（连续） 2.4样品台移动精度为90nm，重复精度为2µm 2.5报警装置，自动避免样品台触碰物镜的危险操作 3 探测器：样品室二次电子探测器 4真空系统 4.1涡轮分子泵：250 立升/秒 4.2旋转泵：独立两级 10 立方米/小时 4.3样品室真空度：高真空模式优于6×10-4 Pa 5数字图像记录系统要求 *5.1图像扫描：最大3072×2304像素；存储分辨率：最大32k×24k像素。 5.2图像显示：24’ LCD显示器，可以 1024 x 768 像素分辨率显示 SEM 图像，支持双通道显示 5.3图像记录：TIFF, BMP或JPEG 6控制和数据处理系统要求 6.1基于网络架构的数据传输系统 6.2原装工作站配置不低于以下指标： RAM 8GB，硬盘256GB，24″TFT显示屏，键盘，鼠标，USB接口； 6.3 Windows 操作系统 6.4操作方式：键盘、鼠标；可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿 6.5双轴摇杆操作系统

仪器介绍

扫描电镜（SEM）是用聚焦电子束在样品表面逐点扫描成像。扫描电镜以其景深好 ，分辨率高，制样简单，综合分析能力强等特点，是表征微米、亚微米尺度表面形 貌和微区成分最有效的常规仪器。配备其他附件如拉伸台、加热台对样品进行原位 结构变化观察和分析。