基本信息

  • 生产厂商 J.A. Woollam
  • 资产编号 18006866
  • 资产负责人 徐志康
  • 购置日期2018-05-10
  • 仪器价格114.71 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.光谱范围：193-1690nm（可选）2.光谱测试间隔：优于1.6nm(100nm)3.补偿方式：双旋转补偿4.变角方式：计算机控制自动变角，变角范围：45-90o5.测量速度：全光谱测量1-10秒6.直射测量准确性：Psi:45°±0.02°；Delta:0°±0.05（测试空光束，测量时间为10秒，所有测量波长点的95%满足）7.重复性:0.005nm(30次2nmSiO2膜厚测量的标准偏差)8.数据分析软件

仪器介绍

功能:测量（分析）各类薄膜的厚度（纳米量级）及折射率，大块材料的折射率；分析材料的微结构特性及变化，组分比等。