该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。与一般扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，是研究材料表面结构与性能关系的重要工具。由于分辨率高，为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。可对金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌进行分析。