本实验室围绕新型微纳信息电子器件，如可延展柔性无机电子器件、MicroLED显示、电磁超材料器件，开展力热设计-制备-应用研究。主要研究方向包括：1、发展先进转印集成技术，包括磁控和热控转印集成技术，研究界面粘附调控机理，实现高效可控转印，应用于可延展柔性无机电子器件、MicroLED显示等新型微纳信息电子器件的批量制备；2、提出新型力热结构设计，揭示其力学变形和传热散热机理，研究服役条件下器件可靠性，为实现高性能电子器件建立力学和热学基础；3、基于先进转印技术和新型力热结构设计，制备新型微纳信息电子器件，包括柔性肌电极、脑电极、触觉传感器、MicroLED显示、电磁超材料器件等，探索其在医疗健康、康复工程、人机交互等领域的应用。刻蚀石英/蓝宝石/Si/SiNX/SiO2/Al/GaAs/GaN/W/WSi/Mo/Ta/TaSi等