基本信息

  • 生产厂商 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公
  • 资产编号 17025318
  • 资产负责人 宋吉舟
  • 购置日期2017-12-07
  • 仪器价格80.20 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人宋吉舟
  • 主要配件 1、真空室 2、旋转基片加热台 3、楔形膜挡板机构 4、电离系统 5、电子枪及电源 6、石英晶体振荡膜厚监控仪 7、工作气路 8、抽气机组及阀门、管道
  • 主要参数极限真空度:小于等于6.67*10-5PA;真空检漏率小于等于5.0*10-7PA.1/s

仪器介绍

本实验室围绕新型微纳信息电子器件,如可延展柔性无机电子器件、MicroLED显示、电磁超材料器件,开展力热设计-制备-应用研究。主要研究方向包括:1、发展先进转印集成技术,包括磁控和热控转印集成技术,研究界面粘附调控机理,实现高效可控转印,应用于可延展柔性无机电子器件、MicroLED显示等新型微纳信息电子器件的批量制备;2、提出新型力热结构设计,揭示其力学变形和传热散热机理,研究服役条件下器件可靠性,为实现高性能电子器件建立力学和热学基础;3、基于先进转印技术和新型力热结构设计,制备新型微纳信息电子器件,包括柔性肌电极、脑电极、触觉传感器、MicroLED显示、电磁超材料器件等,探索其在医疗健康、康复工程、人机交互等领域的应用。实现薄膜材料的制备,可在柔性衬底或者刚性衬底上沉积金属、非金属半导体等各种材料薄膜;并可进行薄膜厚度的测量。