基本信息

  • 生产厂商 美国泰克
  • 资产编号 17025317
  • 资产负责人 宋吉舟
  • 购置日期2017-12-07
  • 仪器价格46.99 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人刘长影
  • 主要配件 1、半导体参数分析仪主机 2、中等功率源测量单元 3、远程前置放大器模块 4、电容电压单元 5、I-V/C-V多开关模块
  • 主要参数1、3个SMU都满足电流表测试量程/分辨率/精度:最小:100na/50fa/30pa,*最大:105ma/50na/3ua2、PA:1个

仪器介绍

对器件和材料的C-V,1-V参数分析,对不同材料的工艺参数进行分析和运算,比如掺杂浓度、平带电压、栅面积、开启电压等,通过这些参数评价器件的工艺性能,支持新型半导体器件、新型纳米结构、纳米电子学等相关研究。