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1.电子衍射分析:测定晶胞参数、晶体取向关系;测定位错的柏格斯矢量等;2.会聚束电子衍射分析:测定晶体点群及空间群、研究晶体缺陷;3.透射电子图象分析:研究包体、出溶相、晶体缺陷(杂质、位错、层错)及晶界等;4.高分辨图象分析:利用晶格条纹象研究混层、超结构、位错等;5.微衍射及微微衍射分析:可进行小至50nm的微细物相结构分析,测定晶胞参数.