该仪器具有超高分辨率，能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像，配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪，同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般钨灯丝扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，对金属、无机非金属、高分子、纳米等材料的表面超微结构形貌进行分析。