基本信息

  • 生产厂商 是德
  • 资产编号 17012574
  • 资产负责人 王珩宇
  • 购置日期2017-09-22
  • 仪器价格54.25 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.适合功率器件表征的综合解决方案，可在高达3kV的高电压偏置时进行sub-pA的精确电流测量。2.可在高达3000V直流偏置时执行晶圆上全自动电容测量。3.可在1kHz-5MHz频率范围内进行AC模式C-V测试、C-f测试、G-f测试。4.可进行低至1Hz的准静态C-V测试。5.可进行C-t、I-t采样测试。

仪器介绍

适合功率器件表征的综合解决方案