基本信息

  • 生产厂商 复纳科学仪器（上海）有限公司
  • 资产编号 19027010
  • 资产负责人 吴浩斌
  • 购置日期2019-12-04
  • 仪器价格137.78 万元
  • 仪器产地荷兰
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数内置集成彩色光学显微镜导航系统，光学放大倍数大于100倍。电子放大优于100,000倍。分辨率优于10nm。加速电压5kV-15kV连续可调，束斑直径大小可连续可调。CeB6灯丝或更优，单根灯丝寿命1500h。抽真空时间优于60s。具备高灵敏度背散射电子探测器，二次电子检测器。真空系统具备隔膜泵，涡轮分子泵。集成EDS能谱，元素探测范围为B（5）-Am（95），能量分辨率优于129eV（MnKa），无液氮Peltier效应制冷。硅漂移探测器（SDD），采用超硬Si3N4窗口。

仪器介绍

用于对各种样品表面进行高分辨形貌观察，提供样品亚微米、纳米尺寸的高分辨图像，可进行化学元素分析。