具有CCD快速测量模式（光谱范围为190nm~990nm，主波为632.8nm，波长分辨率为0.8nm）和PMT高分辨模式（光谱范围为190nm~2000nm，主波为632.8nm，波长分辨率为0.5nm）。起偏臂和检偏臂均能在45°~90°范围内自由旋转，精度为0.1°；样品台在X、Y、Z轴方向自由移动，移动精度0.01mm；可对多孔材料进行孔隙率和孔径分布等测试分析；配备可变温样品台，温度上限为600℃；配备感应电流仪实现薄膜方电阻的测量。