基本信息

  • 生产厂商 Carl Zeiss MG
  • 资产编号 18001161
  • 资产负责人 蒋建中
  • 购置日期2018-01-25
  • 仪器价格376.85 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数ZEISSSUPRA55;分辨率:1.0nm@15kV，1.3nm@1kV；加速电压：0.1~30kV，0.1kV/步；放大倍数：20~500,000倍，连续可调；电子枪：热场发射电子枪；检测器：高低位检测器可选择接收二次电子像或背散射电子像；景试扫描，样品台：5轴马达驱动；最大样品直径200mm；真空系统：具有高低真空功能，离子泵、涡轮分子泵、机械泵组成。

仪器介绍

用来研究样品表面形貌特征，分辨率也比较高；可以原位研究样品在变形过程中的结构变化；在观察形貌的同时，还可做样品的微区成分分析。电制冷能谱仪、EBSD背散射电子衍射分析仪，景试扫描。