反应离子蚀刻机

反应离子蚀刻机

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
  • 仪器生产商 英国牛津仪器等离子技术公司
  • 购置日期 2022-07-29
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 Plasmarpo 80 RIE,单腔体机构有观察室
  • 放置地址 海宁国际校区1E楼1楼-微纳公共平台
  • 仪器管理员 戈佳艳
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