双面对准紫外光刻机

技术群集其他
仪器状态
所属单位浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
仪器生产商 SUSS MicroTec
购置日期 2021-12-21
使用模式送样预约,按时预约
规格型号 MA6Gen4，双面对准下1-1000微米
放置地址海宁国际校区1E楼1楼-微纳公共平台
仪器管理员戈佳艳
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