原子层沉积系统

原子层沉积系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 Veeco
  • 购置日期 2024-11-08
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 Savannah S200
  • 放置地址 微电子裙楼一楼超净室
  • 仪器管理员 王妹芳
  • 联系方式 登录后查看

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