低压化学气相沉积设备

低压化学气相沉积设备

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 捷克SVCS
  • 购置日期 2021-04-30
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 SVcFUR21810,TEOS & Polycrystalline Silicon &
  • 放置地址 ----
  • 仪器管理员 陈长鸿
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