感应耦合等离子干法刻蚀系统

感应耦合等离子干法刻蚀系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 英国Oxford
  • 购置日期 2019-11-18
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 Plasmapro100Cobra180,兼容芯片尺寸及数量：4英寸向下兼
  • 放置地址 ----
  • 仪器管理员 陈长鸿
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