感应耦合等离子体刻蚀系统

感应耦合等离子体刻蚀系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
  • 仪器生产商 SENTECH仪器（德国）有限公司
  • 购置日期 2023-03-24
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 SI 500 ICP
  • 放置地址 海宁国际校区1E楼1楼-微纳公共平台
  • 仪器管理员 戈佳艳
  • 联系方式 登录后查看

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