反应离子干法刻蚀机

反应离子干法刻蚀机

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 日本Panasonic Smart Factory Solu
  • 购置日期 0000-00-00
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 APX300-S
  • 放置地址 111
  • 仪器管理员 陈长鸿
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