探针轮廓仪

探针轮廓仪

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 美国Tencor公司
  • 购置日期 2012-06-19
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 KLA/Tencor D-100
  • 放置地址 玉泉校区微电子楼微纳加工中超净室113
  • 仪器管理员 刘艳华
  • 联系方式 登录后查看

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FAQ

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