MEMS键合加工系统

MEMS键合加工系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 信息与电子工程学院（直管）
  • 仪器生产商 杭州理研自动化技术有限公司
  • 购置日期 2021-05-12
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 GBS150-FV,台
  • 放置地址 浙江省绍兴市越城区浙江大学绍兴研究院微电子研究中心201室
  • 仪器管理员 王曰海
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