电子束蒸发镀膜系统

电子束蒸发镀膜系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 航空航天学院 > 固体力学实验室
  • 仪器生产商 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公
  • 购置日期 2017-12-07
  • 使用模式 自主预约
  • 规格型号 极限真空度：小于等于6.67*10-5PA,真空检漏率小于等于5.0*10-7PA.1/s
  • 所在房间 108
  • 仪器管理员 刘长影
  • 联系方式 登录后查看

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