仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 信息与电子工程学院（直管）
仪器生产商： Palomar
购置日期： 2025-05-31
规格型号： SST3150
放置地址：其他 > 浙江大学绍兴研究院微电子研究中心205
仪器管理员：车录锋
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 2 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 提前预约，如涉及到耗材、设计等另外协商收费 |
| 主要参数： | ★温度控制范围：100℃至500℃，★加热板面积：≥300 mm×300mm，最小真空度：≤50mtor，温度均匀性：≤±2%设定温度，最大温升、降温速率：≥180℃/min;2)腔室真空度：1.5H内达到1 x 10-6 torr，13.5H内可达到1 x 10-7 torr。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
