仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 航空航天学院 > 航空航天学院（直管）
仪器生产商： 北京泰龙电子技术有限公司
购置日期： 2018-10-17
规格型号： ICP-150A,N/A
放置地址：玉泉校区 > 第十二教学大楼 > 一层 > 108
仪器管理员：刘长影
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 本实验室围绕新型微纳信息电子器件，如可延展柔性无机电子器件、MicroLED显示、电磁超材料器件，开展力热设计-制备-应用研究。主要研究方向包括：1、发展先进转印集成技术，包括磁控和热控转印集成技术，研究界面粘附调控机理，实现高效可控转印，应用于可延展柔性无机电子器件、MicroLED显示等新型微纳信息电子器件的批量制备；2、提出新型力热结构设计，揭示其力学变形和传热散热机理，研究服役条件下器件可靠性，为实现高性能电子器件建立力学和热学基础；3、基于先进转印技术和新型力热结构设计，制备新型微纳信息电子器件，包括柔性肌电极、脑电极、触觉传感器、MicroLED显示、电磁超材料器件等，探索其在医疗健康、康复工程、人机交互等领域的应用。刻蚀石英/蓝宝石/Si/SiNX/SiO2/Al/GaAs/GaN/W/WSi/Mo/Ta/TaSi等 |
| 主要参数： | 自动化传片机构：He背冷，水冷，控温腔室；标配6路进气；本底真空优于0.005Pa；射频电源功率1500W，频率13.56MHz；偏压电源功率500W，频率13.56MHz；6寸样品台=+-5%的刻蚀均匀性。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
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| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
