仪器编号：登录后查看
所属平台： 电镜集群
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所
仪器生产商： 日本日立
购置日期： 2013-10-21
规格型号： FB2200/S3400N,钨灯丝电子源，Ga离子源
放置地址：玉泉校区 > 硅材料实验室1号楼 > 一层 > 101
仪器管理员：原帅
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 各种材料形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等;材料微纳结构的样品制备，包括：SEM在线观察下制备TEM样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等. |
| 主要参数： | SEM分辨率：高真空：3.0nm（30kV）；10nm（3kV）低真空：4.0nm（30kV）放大倍数:5-300,000加速电压：0.3-30kV多种步进调压方式FIB1主要参数：(加速电压40kV)图像分辨率6nm最大束流强度60nA或更高最大束流密度50A/cm2或更高放大倍率(显示倍率)60X至300,000X2离子光学：离子源Ga束流光阑马达驱动控制透镜/偏转电极2级静电式透镜/8级静电式偏转电极沉积膜2种气体源（钨和碳）加速电压：40kV(max.)(10,15,20,25,30,35,40kV可选)最小离子束直径：小于6nm(加速电压40kV下) |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
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| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
