注意事项：1、样品需要干燥稳定 2、不测磁性样品 3、自行制样 4、不接受委托送样
主要功能：
1. 样品的微观形貌观察；
2. 纳米级别尺寸的测量；
3. 元素的定性，半定量及分布情况（EDS）。
仪器特点：
1. 选用了新的冷场发射电子枪，使发射源的亮度更高、像散更小，其最高分辨率可达0.6nm；
2. 配备了Lower、Upper和Top，PD-BSE四种探测器，利用不同探头，可以分别接受二次电子（SE）、高角度背散射电子（HA-BSE）和低角度背散射电子（LA-BSE），可更全面的得到样品更真实的形貌；
3. 在减速模式下可以实现0.01kV超低着陆电压的成像。
技术指标：
1. 二次电子分辨率：0.6nm@15kv，0.7nm@1kv；
2. 底片放大倍率：最小20倍，最大2,000,000倍；
3. 具备样品台减速功能，
