等离子刻蚀工艺分析试验台

等离子刻蚀工艺分析试验台

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 集成电路学院 > 集成电路学院（直管）
  • 仪器生产商 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 购置日期 2025-11-14
  • 使用模式 自主预约
  • 规格型号 PSE V300
  • 所在房间 科创中心LAB1
  • 仪器管理员 倪东
  • 联系方式 登录后查看

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FAQ

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