12英寸锗硅外延系统

12英寸锗硅外延系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 集成电路学院 > 集成电路学院(直管)
  • 仪器生产商 浙江求是创芯半导体设备有限公司
  • 购置日期 2026-04-14
  • 使用模式 自主预约
  • 规格型号 EP300B
  • 所在房间 浙江大学杭州国际科创中心水博园区A04-LAB1
  • 仪器管理员 林宏焘
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使用指南

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FAQ

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